米インテルとAMD（アドバンスド・マイクロ・デバイス）は
１１月１２日、インテルが１２億５千万ドルの和解金を
払うことでMPUの市場独占問題などを巡る両社間の
すべての訴訟で和解すると発表した。
インテルはAMDとの係争を早期に終え、今後本格化
するEU委員会やニューヨーク州司法当局との訴訟の
攻防に備える。
両社は法的な争いを終え、製品開発に集中する」との
共同声明を発表。和解金の支払いに加え、特許を相互
利用したり、インテルが「商慣行上の取り決めに
従ったりすることでも合意した。
世界のMPU市場はインテルとAMDの一騎打ちで、
インテルが８割のシェアを持つ。
インテルに対しては、今年５月、欧州委が独禁法違反
と判定して１０億６千万ユーロの制裁金支払いを命じた
ほか、米連邦取引委員会も調査に乗り出している。
○韓国LGデイスプレイーによる中国での「第８世代」液晶
パネル工場新設は、家電製品購入への政府の補助制度
「家電下郷」などの景気刺激策で内需拡大が続く中国
に照準を合わせたものだ。
デジタル家電の生産・消費両面で中国が世界を牽引
すると判断、同国の薄型テレビ・メーカーへの販路拡大
も狙い、他の大手メーカーに先行して中国での橋頭堡を
築く戦略だ。
LGは生産効率を引き上げるため、当初から先端である
「第８世代」のガラス基板で生産。新工場をテコに中国の
テレビ・メーカーへの出荷拡大につなげ、首位サムスン
電子を抜いて、世界トップの座をうかがう。
新工場は今後中国でも需要拡大が見込める３２型、
４７型、５５型の液晶テレビ用パネルを切り出して供給
する模様だ。
○シャープ 液晶パネル生産設備 中国企業に売却。
中国南京市の中堅電機メーカーの液晶パネル子会社
CECパンダに亀山第１工場の第６世代の液晶パネル
生産設備を売却するとシャープが発表した。
第８世代のパネルについても、今後合弁生産の協議を
進めることで合意した。
シャープは南京市に液晶テレビの組み立て工場を持つ。
○台湾の友達光電も中国進出を検討している。
台湾の主要IT関連企業の２００９年１～３期決算は、金融
危機のよる需要減を反映し、液晶パネル、半導体で大幅
赤字企業が続出した。ただ２月以降は受注が回復して
おり、４～６月期は業績が改善する可能性が高まっている。
○半導体 ▲減少或いは赤字 １台湾ドルは約３円
カッコ内は前年同期比増減
☆台湾積体電路製造（連結）TSMC
ファウンドリー受託生産世界首位
売り上げ １１８５億円（▲５４．８） 最終損益 ４５億円
☆聯華電子
売り上げ ３２４億円（▲５４．８） 最終▲２４３億円
☆力晶半導体
売り上げ １１７億円（▲７３．６） 最終▲１８６億円
☆南亜科技
売り上げ １８３億円（▲３２．５） ▲３１５億円
☆茂徳科技
売り上げ ５４億円（▲７６．３） ▲２５５億円
○液晶パネル
☆友達光電（連結） AUO
売り上げ １５２１億円（▲６２．９） ▲６０６億円
☆奇美電子（連結）
売り上げ １３２６億円（▲５１．９） ▲１３２６億円
○パソコン
☆エイサー（連結）
売り上げ ３５７０億円（▲６．５） 最終６０億円
☆アスース（連結）
ASUSTeK Computer,台北、アスースはペガサス由来
売り上げ １３８６億円（▲２６．６） 最終１２億円
○台湾当局が公的資金などを投入して設立する半導体
の新会社「台湾メモリー（TMC）は、業務・資本提携先
に日本のエルピーダメモリを内定したと、準備責任者が
発表した。一方TMCはエルピーダーへの出資を検討
する。
○台湾積体電路製造は、回路線幅４５ナノの半導体の
量産を９月に始めると発表した。世界で初めての量産。
○力晶半導体は２００７年１０月にエルピーダ・メモリー
との合弁工場（瑞晶電子）でDRAMの生産開始。
○ノート・パソコン世界２位の宏碁（エイサー）は２日、
ネット検索大手の米グーグルのＯＳ「アンドロイド」を
自社製パソコンに採用すると発表した。
小型・低価格ノート・パソコンのネット・ブック「アスパイア・
ワン」が対象で７月に世界で発売する。価格は５万円
程度とみられ、現行ネット・ブックとほぼ同じ水準に
抑える方針という。
パソコン大手でアンドロイド採用を決めたのはエイサーが
初めて。日本でもアンドロイドを搭載した「グーグル携帯」
が登場したばかり。
エイサーはマイクロソフトのウインドウズとアンドロイドを
選べるようにする。
東芝は２月１９日岩手県北上市と四日市市の２ヶ所にフラッシュ・メモリ
の新工場を２００９年春から建設すると発表した。提携先の米サン・
デイスクと会わせると投資額は１兆７千億円以上。
韓国サムスン電子から世界シェア首位を奪取するため異例の２工場
同時建設に踏み切る。
HD-DVDからの撤退と同時の巨額投資の決断で、事業の「選択と
集中」の戦略が一段と加速する。
新工場は０９年春に一斉に着工し、２０１０年春の稼動を目指す。
需要動向を見極めながら、設備を徐々に増やし、最短４年程度でフル
稼動させる計画だ。
生産能力は１棟あたり３００ミリ・ウエハーで月間１５万ー２０万枚と
している。
量産するNAND型と呼ぶフラッシュ・メモリーは携帯音楽機器や携帯
電話の記憶用に需要が急伸。パソコンのHDDの代替などが本格化
すれば、需要が爆発的に増える可能性がある。
苦境の時に設備投資を絞った結果、市場拡大時に商機を逸し、強気
の投資を」続けたサムスンなどにDRAMやフラッシュ・メモリーのシェア
を奪われてきたのが日本の半導体産業の歴史。東芝の２工場同時
着工の決断はその轍を踏まないとの決意である。
新工場のうち、１棟は米サン・デイスクと共同運営、この製造装置は
サン・デイスクと費用を折半する。
半導体と並ぶ重要産業と位地づける原子力でも投資が拡大すると
みられる。
２００４の半導体世界ランキングは
１．インテル（米）
２．サムスン電子（韓）
３．テキサス・インスツルメント（米）
４．ルネサス・テクノロジー（日）
５．インフィニオン・テクノロジー(独）
６．STマイクロエレクトロニクス（スイス）
7．東芝
８．NECエレクトロニクス
９．フイリップス・セミコンダクターズ（オランダ）
１０．フリースケール・セミコンダクター(米）
現在最先端回路線幅は９０ナノだが、インテルは２００５内に６５
ナノ品の商用生産を始める予定、韓国サムスン電子は６０ナノ級の
フラッシュメモリー、８０ナノ級のDRAMを開発、東芝は先ず７０ナノ品
06年夏から５５ナノ品を量産する、DRAM専業日本のエルピーダ
メモリーが８０ナノの量産を今年１２月から開始。
○半導体の微細化
回路線幅が狭くなると、同じ面積で集積度を高められるほか、低消費
電力化や処理能力の高速化が望める。一方回路の書き込みが難しく
なるほか、電流が漏れやすくなるなど技術的難点が生じる。次の
壁は４５ナノメートルと言われている。
１ナノ（１nano)=１０億分の１m=1,000分の１ミクロン（μm)=
百万分の１mm。 １ミクロン=百万分の１m=千分の１mm
紫外線の波長:10nm-400nm, 可視光波長:400nm-750nm
○どうやって微細回路を作るのか。
１．フォトマスク
電子回路を作る工程はリソグラフイ（フォトエッチング）技術を利用。
電子回路（電子部品）は２０－３０枚の工程別に分解された、フォト
マスクに描かれた原画を、何度もリソグラフイ工程を繰り返して
ウェーハに転写・パターン形成して、シリコンウェーハ内部への半導体
構造や絶縁膜、金属配線を形成していく。
低膨張の石英ガラス板にクロム（酸化クロム）をスパッタ蒸着する。
この上にレジスト（Photo Resist）を塗布し、電子ビーム描画装置
などでパターンを描画し、露光する。
現像語クロムをエッチングし、レジストヲ剥離しマスクが完成。
微細化の限界はフォトリソグラフイの限界でもある。マスク精度は
厳しい性能が要求される。実際は縮小投影型露光装置（ステッパー）
を用い、実際のパターンより２－５倍大きいパターンをマスク描画
（これをレチクルという）し、それを転写する時に縮小しながら、逐次
露光していく。
露光解像度をあげる工夫として、位相シフトマスクや近接効果補正等
の方策がある。
２．リソグラフィ技術
パターン形成に用いる感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布、
フォトマスクを介して、半導体パターンをウエーハに転写し、
焼き付ける。
レジスト照射（露光）部分を薬液で溶かし現像する。
溶けずに残っているレジストをレジスト・マスクという。
レジスト・マスクで酸化膜をエッチングする。
フォト・レジストを除去する。レジスト下の酸化膜は残って、最終的な
酸化膜パターンになる。この酸化膜がゲート領域になったり、不純物
拡散工程での酸化膜マスクになったりする。
ステッパーは一括露光ではなく、縮小投影しながら、1区画ずつ露光
焼きつける。レンズ縮小率が1/4の場合、マスク上の寸法が４００ナノ
なら、ウエーハ上では１００ナノで焼付けられる。
1回で描画できる領域はブロック（普通は４個のチップ）ごとに露光、
ステップ移動していく。
ステッパーでの露光解像度は，光源の解像度とレンズ開口度に
依存する。
可視光線g線・・・・波長436nm・・露光回路幅 「1ミクロン=1,000nm」
紫外線i線・・・・・・・・・・365nm・・・・・・・・・・・500ナノ
Deep UV・・・・・・・・・・
KrFエキシマ・レーザー・248nm・・・・・・・・・・・180ナノ
Arfレーザー・・・・・・・・・193nm・・・・・・・・・・・130ナノ
F2レーザー・・・・・・・・・157nm・・・・・・・・・・・100ナノ以下
g線やi線の光源は十分な光強度があるが、KrF以降は光源は弱く
なってしまうので、化学増幅型レジスト(光度不十分を加熱によって
補う）を用いる。
○フォトレジストの最大手で、世界一のメーカーは、川崎市中原在
東京応化工業である。創立後65年。
米国インテルからは、毎年最優秀納入業者として表彰されている。
米国シアトルに製造工場もある。９０ナノ、６０ナノ対応のレジスト
開発生産に成功してきたが、２００５末完成に向け、神奈川寒川町
にある相模原事業所に新施設を建設し、４５ナノ以下に対応する
研究開発拠点とする。
液晶パネル、カラーフイルターやプラズマパネルにもフォトレジストが
必要である。
東京応化では液晶カラーフイルター用ブラックレジストも生産している。
また、半導体用とは違う大型パネル用Spinless Coaterも開発した。
○他のレジスト・メーカにシプレイ(Shipley)Co.,米国、日本(現在ローム
・アンドハース電子材料会社になっている。代表者渡辺憲也）がある。
○富士写真フイルムも感光樹脂を生産しており、世界シェアは７%
程度という。
今回米国中堅化学メーカー・アーチケミカルズの感光樹脂事業を
11月に買収する。
三菱化学はフォトレジスト事業を韓国合弁社も含め、２０００年に
Shipley社に譲渡した。
○JSR㈱「もと日本合成ゴム」もレジストを生産している。
液晶デスプレイ用カラースクリーン向けカラーレジスト（R,G,B各色用）
の大手供給元
○凸版印刷はIBMとフォトマスクを共同開発する。両社合わせて２００
億円を投資する。回路線幅４５ナノに対応する。
凸版は今年４月米デユポンの子会社を６８０億円で買収しており、
世界シェアは３０%で世界第一位。
IBMは従来マスクを内製していたが、インテルに対抗できぬとして、
凸版と組むことにした。
○2位の大日本印刷は２０%だが、米インテルと４５ナノ向けのマスクの
共同開発に取り組んでおる。また、凸版とも合わせ、液晶カラー
スクリーンの世界最大のメーカーになっている。
○マスク3位は米フォトロニクスの１３%。
ISO（国際標準化機構）ではICカード及び無線ICタグにつき、以下の
ように規格化している。
○非接触ICカード 通信距離による分類
密着型 数mm 4,915MHz 汚れに強い 物流適用
近接型 10cm 13,56MHz Type A,B（CPU搭載）Type C(高速通信
・・・・・・・・日本ではJR東日本で使用のSuicaカード、JR西日本の
・・・・・・・・ICOCAカード、電子マネーのEdyカードあり）
近傍型 70cm 13.56MHz
（注・・FeliCaとはSONYが開発した非接触ICカード技術のこと）
○無線ICタグ 周波数帯による分類
15961/15962・・コマンド、データシンタックス
15963・・・・・・・・固有IDのフオーマット
18000-1・・・・・変調方式、符号化、プロトコル等
18000-2・・・・・135KHz以下
18000-3・・・・・13.56MHz
18000-4・・・・・2.45GHz
18000-5・・・・・5,8GHz・・・・中止
18000-6・・・・・850-960MHz(UHF)
○NHKスペシヤル ８月28日放送 ICタグ
米軍はイラクで補給物資がうまく届かぬため、軍需物資管理の
国際標準化に動き始めた。
EPCglobalはサプライチェーン上のモノに関する情報を効率的に
可視化するシステムの実現を目的に、２００３年１１月に、欧州の
コード標準化団体（国際EAN協会）と北米のコード標準化団体(UCC)
の協同で発足した。
国防総省はEPC理事会、５５０社の加盟メーカー（アジアも含む）と
統一コードを作り、これを売り出す。 またタグは日本円換算で35円
で売る（たとえばシアトル在インターメック社より）という案を、ISOに
もちかけた。
こんな案では、日本メーカーは大混乱、莫大な金が必要になるので
日本のISO委員、吉岡稔弘（松下）は、それは駄目、前に局番を
つけて在来のコードを使えるようにすべきと主張、賛成を得た。
しかし、性能範囲を一部ずらし、タグ1個5円案をだしたが、これは
却下された。
一方米軍は2005年１月より納入業者にコードをつけさせているとの
情報もあり、対象タグは何なのか、全般的な話しなのか、さっぱり
判らない。
９月１４－１６日、東京ビッグサイトで第７回自動認識総合展があり、
５円でミューチップ使用タグを作れるという、日立製作所のブースで、
この放送の件を問い合わせたところ、あれは９００MHz帯のことで、
別に何も決まった話しではないとのことで、なんとか判ったような
気分になったが、今後要注意だ。
会場は大盛況。RFIDの言葉がやたら目立ったが、これはRadio
Frequency Identificationの略で、JIS定義では、「誘導電磁界又は
電波によって非接触で半導体メモリーのデーターを読出し、書込み
のために近距離通信を行うものの総称」とある。
ICタグはユビキタス社会の重要基本要素になると思われ、また国産
OSトロンが微小コンピューター用に活躍することになると考えられる。
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